元至元十五年（1278年）屬泉州路。
明、清兩代均屬泉州府。
1913年改隸南路道。
1928年直隸福建省。
1934年歸屬第四行政督察區(qū)。
1949年8月23日惠安解放，同年歸屬第五行政督察專員公署。
1950年隸泉州專區(qū)。
1950年屬晉江專區(qū)。
1971年歸屬晉江地區(qū)。
1986年歸屬泉州市。
1951年全縣劃為11個(gè)區(qū)。
1958年撤銷區(qū)、鄉(xiāng)政府，全縣成立5個(gè)人民公社。
1984年撤銷人民公社，恢復(fù)鄉(xiāng)（鎮(zhèn)）建制。
全縣共轄2個(gè)鎮(zhèn)、15個(gè)鄉(xiāng)。
1985年省政府批準(zhǔn)惠安縣設(shè)立肖厝鎮(zhèn)，以南埔、后龍、山腰3個(gè)鄉(xiāng)及凃嶺鄉(xiāng)部分行政區(qū)域?yàn)樾へ孺?zhèn)的行政區(qū)域。
1990年從東園鎮(zhèn)劃出白奇、里春、蓮埭、后海、下埭等5個(gè)村，設(shè)立百崎回族鄉(xiāng)。
1992年肖厝鎮(zhèn)人民政府正式掛牌辦公。
1996年撤銷肖厝鎮(zhèn)建制，設(shè)立后龍、山腰、南埔、凃嶺、埭港5個(gè)鎮(zhèn)；從東嶺析出18個(gè)村置東橋鄉(xiāng)；同年省委、省政府批準(zhǔn)成立泉州市肖厝經(jīng)濟(jì)開發(fā)管理委員會(huì)（簡(jiǎn)稱肖厝管委會(huì)，管轄區(qū)域與原肖厝鎮(zhèn)一樣）。
1998年?yáng)|橋鄉(xiāng)改為東橋鎮(zhèn)，1999年增設(shè)峰尾鎮(zhèn)、紫山鎮(zhèn)、界山鎮(zhèn)，埭港鎮(zhèn)更名為前黃鎮(zhèn)，小岞鄉(xiāng)改為小岞鎮(zhèn)。
2000年劃為山腰、前黃、南埔、界山、峰腰、凃嶺等7個(gè)鎮(zhèn)置泉港區(qū)。