1994年12月17日，撤銷(xiāo)臨沂地區(qū)和縣級(jí)臨沂市，設(shè)立地級(jí)臨沂市，臨沂市設(shè)立蘭山區(qū)、羅莊區(qū)和河?xùn)|區(qū)。
1995年3月14日，中共河?xùn)|區(qū)委、河?xùn)|區(qū)人民政府揭牌。
1995年4月，撤銷(xiāo)鄭旺鄉(xiāng)、太平鄉(xiāng)，設(shè)立鄭旺鎮(zhèn)、太平鎮(zhèn)。
黑墩鄉(xiāng)更名為鳳凰嶺鄉(xiāng)。
1996年初，轄8個(gè)鎮(zhèn)4個(gè)鄉(xiāng)：九曲鎮(zhèn)、太平鎮(zhèn)、芝麻墩鎮(zhèn)、湯頭鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、相公鎮(zhèn)、重溝鎮(zhèn)、梅埠鎮(zhèn)、八湖鄉(xiāng)、鳳凰嶺鄉(xiāng)、劉店子鄉(xiāng)、湯河鄉(xiāng)。
同年7月3日，撤銷(xiāo)八湖鄉(xiāng)、湯河鄉(xiāng)、設(shè)立八湖鎮(zhèn)、湯河鎮(zhèn)。
2003年6月，成立臨沂經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，臨沂市政府將區(qū)轄芝麻墩鎮(zhèn)、梅家埠鎮(zhèn)劃歸開(kāi)發(fā)區(qū)代管理。
2004年5月，省政府批準(zhǔn)設(shè)九曲街道、太平街道、湯頭街道、相公街道、鳳凰嶺街道、芝麻墩街道、梅埠街道。
2008年9月，臨沂市政府將區(qū)轄重溝鎮(zhèn)劃歸開(kāi)發(fā)區(qū)代管。
2009年9月，經(jīng)省政府批準(zhǔn)，臨沂市河?xùn)|區(qū)調(diào)整部分行政區(qū)劃：撤銷(xiāo)重溝鎮(zhèn)，設(shè)立重溝街道，駐原重溝鎮(zhèn)政府駐地。
調(diào)整后，全區(qū)轄8個(gè)街道、3個(gè)鎮(zhèn)、1個(gè)鄉(xiāng)：九曲街道、芝麻墩街道、梅埠街道、相公街道、太平街道、湯頭街道、鳳凰嶺街道、重溝街道、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、劉店子鄉(xiāng)。
其中，芝麻墩街道、梅埠街道、重溝街道由臨沂經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)代管理。
2011年1月，將沂南縣葛溝鎮(zhèn)整建制劃歸河?xùn)|區(qū)管轄。
2011年8月，將臨沭縣鄭山街道8個(gè)行政村、曹莊鎮(zhèn)5個(gè)行政村劃歸河?xùn)|區(qū)梅埠街道辦事處管轄（授權(quán)臨沂經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)管理）。
2011年9月，重溝街道更名為朝陽(yáng)街道。
2011年11月，撤銷(xiāo)葛溝鎮(zhèn)，并入湯頭街道；撤銷(xiāo)劉店子鄉(xiāng)，并入八湖鎮(zhèn)。
調(diào)整后，河?xùn)|區(qū)轄8個(gè)街道、3個(gè)鎮(zhèn)；九曲街道、芝麻墩街道、梅埠街道、相公街道、太平街道、湯頭街道、鳳凰嶺街道、朝陽(yáng)街道、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)。