隋唐時稱斜谷城。
清朝時稱齊家寨。
1949年5月，為郿縣第四區(qū)，轄7個小鄉(xiāng)，7月另設立齊鎮(zhèn)市。
1956年2月，設齊鎮(zhèn)鄉(xiāng)，轄18個村。
1958年9月，成立紅旗公社（含首善），轄西涼閣、齊鎮(zhèn)、上西銘、首善4個管理區(qū)，共40個生產大隊，12月并入周至縣。
1961年9月，復歸眉縣，設齊鎮(zhèn)公社，轄18個生產大隊。
1984年4月，改公社為鄉(xiāng)鎮(zhèn)，恢復為齊鎮(zhèn)，轄18個行政村。
2005年10月，積谷寺村與斜峪關村合并為斜谷村．賈家寨村與上西銘村、雷村合并為三星村，下廟村與下西銘村合并為齊西村，黨東村與黨西村合并為黨家寨村，下轄13個行政村。