西漢置慮虒縣，屬太原郡。
三國屬魏國，隸并州新興郡。
北齊改屬雁門郡。
隋大業(yè)三年（607）改五臺縣，屬雁門郡。
唐、五代屬代州。
宋隸代州。
金朝時屬河?xùn)|北路代州。
貞祐四年（1216）升五臺縣為臺州，隸太原府。
元屬冀寧路。
明洪武二年（1369）廢臺州，復(fù)置五臺縣，屬太原府。
九年改屬代州。
仍轄于太原府。
清雍正二年（1724）代州升為直隸州。
1912年屬雁門道。
1937年抗日民主政府成立，屬第一行政區(qū)。
1945年改屬晉冀二專區(qū)。
1948年改屬晉中一專區(qū)。
1949年屬忻縣專區(qū)。
1958年忻縣、雁北二專署合并，屬晉北專區(qū)。
1961年復(fù)屬忻縣專區(qū)，1967年屬忻縣地區(qū)。
1983年屬忻州地區(qū)。
2000年屬忻州市至今。